1）技術參數：整機規格700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)腔體規格Φ230mm×210mm腔體容積8.5L電極規格外置環形電極載物規格單層，180mm×185mm（平放、懸掛均可）電源系統RF射頻等離子發生源，全自動阻抗匹配；13.56MHz...
1）技術參數：
整機規格 | 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
腔體規格 | Φ230mm×210mm |
腔體容積 | 8.5L |
電極規格 | 外置環形電極 |
載物規格 | 單層，180mm×185mm（平放、懸掛均可） |
電源系統 | RF射頻等離子發生源，全自動阻抗匹配；13.56MHz |
控制系統 | 觸摸屏+PLC自動控制 |
真空系統 | 抽速：6L/S |
氣路系統 | 2路工作氣體、1路放空、1路接枝 |
工作電壓 | AC220V |
2）產品特點：
ü RF射頻晶體管等離子發生源，全自動阻抗匹配。
ü 柜式結構，真空泵內置，有效節約占地面積。
ü 萬向底輪設計，方便設備移動。
ü 高強度石英石玻璃腔體，易清潔、耐腐蝕。
ü 置物方式多樣化，可平放、可懸掛。
ü 外置環形電極，有效避免對腔體內的污染。
ü 真彩色全中文界面觸摸屏，畫面清晰，操作方便。
ü PLC自動控制，功能齊全，所有運行參數可自行設置并監控，主要功能包括：手動模式/自動模式任意切換、PID自動調節、自動操作、自動報警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、電源無功率輸出報警、真空度過高報警、真空度過低報警等）、實時監控畫面、配方管理及密碼管理功能。
3）應用范圍：
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